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    可變形反射鏡

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      可變形反射鏡

      提供32(Mini-DM)或140(Miti-DM)個驅動器的型號BostonMicromachinesCorporation提供1020(Kilo-DM)個驅動器的型號3.5微米的Z大驅動器位移驅動器中心到中心間距為400微米,驅動器間的低耦合獲得高空間分辨率驅動器運行零滯后14位驅動電子元件產生亞納米的重復性內置高壓電源的緊湊型驅動電路,可變形反射鏡

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